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Microtecnología: diario de un proceso. Fabricación de un microacelerómetro


Microtecnología: diario de un proceso. Fabricación de un microacelerómetro
Microtecnología: diario de un proceso. Fabricación de un microacelerómetro

María Cruz Acero

Affiliation: Consejo Superior de Investigaciones Científicas. Instituto de Microelectrónica de Barcelona, IMB-CNM (España)

Biography: Not available

Jaume Esteve

Affiliation: Consejo Superior de Investigaciones Científicas. Instituto de Microelectrónica de Barcelona, IMB-CNM (España)

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José Antonio Plaza

Affiliation: Consejo Superior de Investigaciones Científicas. Instituto de Microelectrónica de Barcelona, IMB-CNM (España)

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Emilio Lora-Tamayo

Affiliation: Consejo Superior de Investigaciones Científicas. Instituto de Microelectrónica de Barcelona, IMB-CNM (España)

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María Cruz Acero; Jaume Esteve; José Antonio Plaza; Emilio Lora-Tamayo

About the authors 

Publication year: 2010

Language: Spanish

Subjects: Science and Technology

Collection: Biblioteca de Ciencias

Abstract:

The aim of this book is to explain the techniques used to manufacture siliconbased microsystems. The first part of the book gives a theoretical introduction to accelerometers in general and in particular to piezoresistive accelerometers. In the second part describes the day-to-day manufacturing process in the “Diary of the process.”

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Bibliographic information

Physical Description : 157 p. : il., gráf. ; 24 cm

ISBN: 978-84-00-09162-0

eISBN: 978-84-00-09163-7

Publication: Madrid : Consejo Superior de Investigaciones Científicas, 2010

Reference CSIC: 11802

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This book was added to our online catalog on Friday 15 April, 2011.