María Cruz Acero Filiación: Consejo Superior de Investigaciones Científicas. Instituto de Microelectrónica de Barcelona, IMB-CNM (España) Biografía: No disponible Jaume Esteve Filiación: Consejo Superior de Investigaciones Científicas. Instituto de Microelectrónica de Barcelona, IMB-CNM (España) Biografía: No disponible José Antonio Plaza Filiación: Consejo Superior de Investigaciones Científicas. Instituto de Microelectrónica de Barcelona, IMB-CNM (España) Biografía: No disponible Emilio Lora-Tamayo Filiación: Consejo Superior de Investigaciones Científicas. Instituto de Microelectrónica de Barcelona, IMB-CNM (España) Biografía: No disponible |
María Cruz Acero; Jaume Esteve; José Antonio Plaza; Emilio Lora-Tamayo Año de publicación: 2010 Idioma: español Materias: Ciencia y Tecnología Colección: Biblioteca de Ciencias |
Resumen:
El objetivo de este libro es divulgar las técnicas más utilizadas para fabricar microsistemas basados en silicio. La novedad que aporta este trabajo es describir y mostrar detalladamente el proceso de fabricación de un Microsistema en una Sala Blanca. Se ha escogido un microacelerómetro de silicio como eje del estudio, porque su fabricación representa un ejemplo claro del uso de tecnologías microelectrónicas y de tecnologías de micromecanización. Además, el acelerómetro es uno de los microsistemas más conocidos, debido a sus aplicaciones y a su éxito comercial. Se utiliza en sistemas de seguridad o navegación y en productos de electrónica de consumo, como cámaras fotográficas, videocámaras o videoconsolas. En la primera parte del libro se hace una introducción teórica a los acelerómetros en general y a los acelerómetros piezorresistivos en particular. En la segunda parte se muestra día a día su proceso de fabricación, en el «Diario del Proceso». Los autores de esta obra son investigadores con una amplia y reconocida experiencia en el campo de la micro y nanotecnología. Su labor investigadora se desarrolla en el Instituto de Microelectrónica de Barcelona, IMB-CNM (CSIC).
Descripción física del libro: 157 p. : il., gráf. ; 24 cm
ISBN: 978-84-00-09162-0
eISBN: 978-84-00-09163-7
Publicación: Madrid : Consejo Superior de Investigaciones Científicas, 2010
Referencia CSIC: 11802
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Este título está en nuestro catálogo electrónico desde el viernes 15 abril, 2011.